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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>電源技術論文>直流磁控濺射電源研制及輸出特性研究

直流磁控濺射電源研制及輸出特性研究

2010-06-27 | rar | 95 | 次下載 | 5積分

資料介紹

摘要:磁控濺射技術在薄膜制備領域廣泛應用,電源是磁控濺射鍍膜的關鍵設備之一。本文介紹了全橋逆變直流磁控濺射電源主電路和控制電路的設計,該電源輸出功率2kW,采用PI恒流控制,具有過流保護。通過阻性負載測試表明電源具有很好恒流特性,在輸出功率超過400W時電源效率比較高。利用氮氣/氬氣不銹鋼靶直流磁控濺射實際的等離子體負載測試表明:在保證真空室內壓力不變的前提下,隨著氮氣比例的增加,電壓下降,但電源恒流效果好,工作穩定。
關鍵詞:磁控濺射;電源;全橋變換;恒流
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