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壓電化學傳感器是一類重要的質量敏感型檢測器,由于具有體積小、靈敏度高、響應時間快等優越性而具有極好的應用前景。本文介紹了體聲波化學傳感器(QCM) 和表面聲波化學傳感器(SAW) 的原理,概述了最近幾年的應用情況及提高靈敏度的方法,并對其發展趨勢進行了展望。
關鍵詞 石英晶體微量天平 表面聲波 質量敏感傳感器
Abstract Piezoelectric chemical sensor is an important mass2sensitive detector. It has a wide application for its superiority such as small size ,fast response and high sensitivity , etc. The principles of quartz crystal microbalance (QCM) and surface acousitc wave (SAW) are introduced and their applications in recent years are reviewed. The method
to improve the sensitivity and the trends of mass2sensitive detector are discussed.
Key words quartz crystal microbalance (QCM) ; surface acoustic wave (SAW) ; mass2sensitive sensor
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