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討論了金屬氧化物半導(dǎo)體表面的氣2氣、氣2固反應(yīng)及其相應(yīng)的電子過程, 建立了分析
氣敏作用機(jī)理的理論模型, 并提出了改進(jìn)傳感器性能的指導(dǎo)性意見。
關(guān)鍵詞: 氣敏傳感器; 金屬氧化物半導(dǎo)體; 晶粒勢壘
Abstract: The react ion s of gas2gas and gas2so lid on the su rface ofm etal2ox ide sem iconduc2 to r and react ive elect ron ic p rocesses are discu ssed in th is paper. A lso, the theo ret icalmodel fo r analysiing gas sen sit ivem echan ism is estab lished, and som e gu iding suggest ion s fo r im2 p roving perfoum ances of gas sen so r are p rovided in th is paper.
Key words: gas sen so r; m etal2ox ide sem iconducto r; grain boundary
氣敏作用機(jī)理的理論模型, 并提出了改進(jìn)傳感器性能的指導(dǎo)性意見。
關(guān)鍵詞: 氣敏傳感器; 金屬氧化物半導(dǎo)體; 晶粒勢壘
Abstract: The react ion s of gas2gas and gas2so lid on the su rface ofm etal2ox ide sem iconduc2 to r and react ive elect ron ic p rocesses are discu ssed in th is paper. A lso, the theo ret icalmodel fo r analysiing gas sen sit ivem echan ism is estab lished, and som e gu iding suggest ion s fo r im2 p roving perfoum ances of gas sen so r are p rovided in th is paper.
Key words: gas sen so r; m etal2ox ide sem iconducto r; grain boundary
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