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討論了一種梳齒式微機(jī)械加速度計(jì)的靜態(tài)模型。從加速度計(jì)的靜態(tài)輸入入手，求得加速
度計(jì)平衡時(shí)的輸出關(guān)系式，還討論了敏感輸入軸垂直的橫向加速度輸入分量對(duì)輸出的影響。在理論分析的基礎(chǔ)上，根據(jù)離心機(jī)試驗(yàn)結(jié)果求得加速度計(jì)的靜態(tài)模型。
關(guān) 鍵 詞：微機(jī)械加速度計(jì)；電容傳感器；靜態(tài)模型辨識(shí)
Abstract: This paper discusses the static model of a multi-finger micromechanical accelerometer. The output voltage is deduced when the input is supposed to be constant and the response of the accelerator is stable. The influence of micromechanical accelerometer’s input along the transverse axis on the output is discussed. Based on the theoretical analysis, the static model of the accelerometer is obtained by experimental results of the centrifuge.
Key words: micromechanical accelerometer; capacitive sensor; static model identification
度計(jì)平衡時(shí)的輸出關(guān)系式，還討論了敏感輸入軸垂直的橫向加速度輸入分量對(duì)輸出的影響。在理論分析的基礎(chǔ)上，根據(jù)離心機(jī)試驗(yàn)結(jié)果求得加速度計(jì)的靜態(tài)模型。
關(guān) 鍵 詞：微機(jī)械加速度計(jì)；電容傳感器；靜態(tài)模型辨識(shí)
Abstract: This paper discusses the static model of a multi-finger micromechanical accelerometer. The output voltage is deduced when the input is supposed to be constant and the response of the accelerator is stable. The influence of micromechanical accelerometer’s input along the transverse axis on the output is discussed. Based on the theoretical analysis, the static model of the accelerometer is obtained by experimental results of the centrifuge.
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