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基于In2O3膜HSGFET型功函數(shù)O3傳感器的研究

2009-07-10 | rar | 255 | 次下載 | 3積分

資料介紹

本文以In2O 3 及其混合物為敏感材料, 采用懸浮柵結(jié)構(gòu)和功函數(shù)方法, 研究出可在室溫下工作的HSGFET型功函數(shù)O 3 傳感器, 并給出傳感器對(duì)O 3 響應(yīng)曲線以及實(shí)驗(yàn)結(jié)果的理論分析等.
關(guān)鍵詞: In2O 3 膜; HSGFET 型; 功函數(shù); O 3 傳感器
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