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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>用于地球物理勘探的MEMS加速度傳感器

      用于地球物理勘探的MEMS加速度傳感器

      2009-07-10 | rar | 259 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      傳統速度檢波器由于內在結構的限制,其技術性能已不能滿足現代高分辨率地震勘探數據采集的要求。美國I/ O 公司利用MEMS 技術研制開發的加速度傳感器具有良好的頻率響應特性,可在檢波器內部進行模/ 數轉換,實現檢波器數字信號輸出。文章對MEMS 技術特點及發展現狀、MEMS 加速度傳感器結構及主要技術性能做
      簡要介紹,并給出了傳統檢波器與MEMS 加速度傳感器野外數據采集的具體實例。
      關鍵詞　MEMS 技術　加速度傳感器　頻率響應　地震勘探
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