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提出了一種新型的基于全息光柵的CCD 位移傳感器. 方法 利用CCD 分辨率高, 像素均勻等特點, 對干涉條紋的移動進行精確定位, 利用全息光柵在測量過程中又具有不受光源波長的影響、適用光譜范圍寬等特點, 實現(xiàn)位移的自動精確測量. 結(jié)果 系統(tǒng)能夠?qū)ξ灰茖崿F(xiàn)自動精確測量. 該系統(tǒng)具有一定的實用價值及應(yīng)用前景.
高精度的位移測量系統(tǒng)是機械、儀表、工具、兵器、宇航等產(chǎn)業(yè)獲得位置精度的基礎(chǔ), 也是上述產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品及技術(shù)不斷進步的制約因素. 在這些方面發(fā)展得比較成熟的主要是柵尺類位移傳感器, 其中又以光柵位移傳感器為主要代表. 而傳統(tǒng)的光柵位移測量裝置中多以刻畫光柵為主, 并以光電探測器為接收元件來進行位移的檢測, 最終得到數(shù)字化的位移信號. 而近年來隨著CCD 技術(shù)的不斷完善和提高, 使其作為用于干涉條紋的拾取工具成為可能, 并在很大程度上提高了定位精度. 而依據(jù)全息光柵無鬼線、適用于光譜范圍寬、高分辨率及有效孔徑大等優(yōu)點[ 1 ] , 本文提出一種利用全息光柵代替?zhèn)鹘y(tǒng)刻畫光柵、以線陣CCD 作為條紋拾取裝置, 并通過高速動態(tài)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)最終由8031 單片嶧信號數(shù)據(jù)進行自動處理的位移精密測量系統(tǒng).
高精度的位移測量系統(tǒng)是機械、儀表、工具、兵器、宇航等產(chǎn)業(yè)獲得位置精度的基礎(chǔ), 也是上述產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品及技術(shù)不斷進步的制約因素. 在這些方面發(fā)展得比較成熟的主要是柵尺類位移傳感器, 其中又以光柵位移傳感器為主要代表. 而傳統(tǒng)的光柵位移測量裝置中多以刻畫光柵為主, 并以光電探測器為接收元件來進行位移的檢測, 最終得到數(shù)字化的位移信號. 而近年來隨著CCD 技術(shù)的不斷完善和提高, 使其作為用于干涉條紋的拾取工具成為可能, 并在很大程度上提高了定位精度. 而依據(jù)全息光柵無鬼線、適用于光譜范圍寬、高分辨率及有效孔徑大等優(yōu)點[ 1 ] , 本文提出一種利用全息光柵代替?zhèn)鹘y(tǒng)刻畫光柵、以線陣CCD 作為條紋拾取裝置, 并通過高速動態(tài)數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)最終由8031 單片嶧信號數(shù)據(jù)進行自動處理的位移精密測量系統(tǒng).
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