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基于CMOS工藝的硅基PI濕度傳感器的研制

2009-11-23 | rar | 225 | 次下載 | 3積分

資料介紹

在國內(nèi)外濕度傳感器研究的基礎上,基于Si CMOS 工藝研制出了以聚酰亞胺(PI)為感濕介質(zhì)的電容型相對濕度傳感器。并對其結構進行了理論分析,仔細確定了濕度傳感器的工藝步驟和版圖設計。對其測量范圍、濕滯和響應時間等特性參數(shù)進行了詳細的測試。通過實驗結果與模擬結果的對比分析,給出了該實驗中存在的問題和改進意見,以便在今后的研究中加強這方面的工作。
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