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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>電容式微機械加速度計閉環系統的零偏

電容式微機械加速度計閉環系統的零偏

2010-08-17 | rar | 262 | 次下載 | 3積分

資料介紹

D為解釋電容式微加速度計閉環系統零點不惟一的
特殊現象=對其力學模型和電路特性進行理論分析=推導了
閉環輸出Q零偏Q零偏重復性Q檢測盲區寬度等公式=建立新
的靜平衡模型H通過零偏與預載的關系實驗=定量分析了零
偏不重合度Q零偏重復性等=并對實驗數據進行誤差分析H該
靜平衡模型揭示了動齒的運動規律=證明檢測盲區寬度和零
偏重復性成正比=成功解釋了兩個零點問題H指出提高零偏
重復性指標的方法=對于微機械結構的設計Q預載的選擇也
具有指導意義H
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