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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>測試測量論文>采用PLC控制制備鐵電薄膜的液態源系統

采用PLC控制制備鐵電薄膜的液態源系統

2009-02-10 | rar | 233 | 次下載 | 2積分

資料介紹

摘要:為了提高制備鐵電薄膜的可靠性和重復性,設計了基于PLC控制的液態源MOCVD系統。通過觸摸屏完成系統控制、工藝參數設置及數據顯示,實現了工藝過程的自動化控制。同時為了確保工藝過程的安全性,系統設計了異常報警、廢氣處理等組件。實際
應用表明,該系統結構緊湊、自動化程度高、控制靈活,適合于沉積制備高質量的金屬氧化物薄膜。
關鍵詞:金屬有機物 化學氣相 沉積 可編程控制器 觸摸屏薄膜

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