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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>測試測量論文>半導體芯片電路線寬顯微測量精度分析

半導體芯片電路線寬顯微測量精度分析

2009-09-09 | rar | 132 | 次下載 | 2積分

資料介紹

?????????在顯微圖像的尺寸測量中,由于各種因素的影響,測量結果不可避免地存在著誤差。為了充分認識并進而減小這些誤差,提高測量精度,文章對標準件標定、顯微光學系統的景深、對焦、光照亮度以及溫度等影響測量結果的誤差源作了細致的研究,給出了半導體芯片電路線寬顯微測量結果及精度分析。
關鍵詞:半導體芯片,顯微測量,精度分析
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