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電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>測試測量論文>三維MEMS加速度計的測試方法

三維MEMS加速度計的測試方法

2009-11-26 | rar | 225 | 次下載 | 10積分

資料介紹

文章針對一種三維MEMS 加速度計,提出了三維加速度計的測試方法,
并根據測試結果對此加速度計進行了性能分析。通過對其設計原理和內部結構的
描述,指出該型MEMS 加速度計的結構優點及性能特點。針對該加速度計,作
者設計了測試裝置,制作了測試電路,并在文章中詳細描述了測試原理及整個測
試過程。
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