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介紹了對(duì)新型發(fā)光二極管外延片光致發(fā)光系統(tǒng)的改進(jìn),以VC.net 為語言工具編制軟
件,對(duì)發(fā)光二極管外延片關(guān)鍵性能參數(shù)的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行分析。增加了薄膜厚度測(cè)量的性能,完善了測(cè)量系統(tǒng)的功能。基于PC 的檢測(cè)系統(tǒng)智能化、自動(dòng)化,實(shí)現(xiàn)了對(duì)LED 外延片的無損、快速、準(zhǔn)確的在線掃描測(cè)量。
件,對(duì)發(fā)光二極管外延片關(guān)鍵性能參數(shù)的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行分析。增加了薄膜厚度測(cè)量的性能,完善了測(cè)量系統(tǒng)的功能。基于PC 的檢測(cè)系統(tǒng)智能化、自動(dòng)化,實(shí)現(xiàn)了對(duì)LED 外延片的無損、快速、準(zhǔn)確的在線掃描測(cè)量。
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