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本文對硅微加速度計研究中的熱點——電容式加速度計和隧道式加速度計的微弱
信號檢測電路進行了設計、測試及標定，并對電容式加速度計及所設計的檢測電路進行
了厚膜混合集成。
在了解梳齒式電容加速度計檢測原理的基礎上，完成了其差分檢測電路的設計，為
保證其線性度和提高量程，采用了閉環反饋控制電路。測試了所設計電路的分辨率，己
達10。6F。與電容式加速度計進行了聯調，并進行了傳感器的靜態及動態測試，各項測
試均較理想。
對隧道式加速度計的檢測原理——隧道效應，進行了介紹，并對北京大學加工的隧
道式加速度計進行了開環測試，及對系統進行了SIMuLINK仿真用于指導隧道式加速
度計檢測電路中參數的設定。對三軸隧道式加速度計進行了線性度測試及標定。并對真
空封裝的隧道式加速度計進行了PID設計及仿真。
電路集成可以使外圍檢測電路微型化，提高電路性能和穩定性。采用厚膜混合集成
工藝完成了電容式加速度計及其檢測電路的集成，對厚膜混合集成所選用的元器件、材
料及制作工序進行了詳細的論述，對集成后的電容式加速度傳感器進行了功能測試，可
知其分辨率較之集成前提高了一個數量級。
信號檢測電路進行了設計、測試及標定，并對電容式加速度計及所設計的檢測電路進行
了厚膜混合集成。
在了解梳齒式電容加速度計檢測原理的基礎上，完成了其差分檢測電路的設計，為
保證其線性度和提高量程，采用了閉環反饋控制電路。測試了所設計電路的分辨率，己
達10。6F。與電容式加速度計進行了聯調，并進行了傳感器的靜態及動態測試，各項測
試均較理想。
對隧道式加速度計的檢測原理——隧道效應，進行了介紹，并對北京大學加工的隧
道式加速度計進行了開環測試，及對系統進行了SIMuLINK仿真用于指導隧道式加速
度計檢測電路中參數的設定。對三軸隧道式加速度計進行了線性度測試及標定。并對真
空封裝的隧道式加速度計進行了PID設計及仿真。
電路集成可以使外圍檢測電路微型化，提高電路性能和穩定性。采用厚膜混合集成
工藝完成了電容式加速度計及其檢測電路的集成，對厚膜混合集成所選用的元器件、材
料及制作工序進行了詳細的論述，對集成后的電容式加速度傳感器進行了功能測試，可
知其分辨率較之集成前提高了一個數量級。
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