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應(yīng)用再流動現(xiàn)象于自動組裝之3D光學(xué)微機電結(jié)構(gòu)設(shè)計與測試

2010-09-08 | rar | 3021 | 次下載 | 3積分

資料介紹

本論文之目的在於BCB光阻材料以不同
的製程參數(shù)於再流動的結(jié)果加以探討之外,並
將其再流動之特性應(yīng)用於三維光學(xué)鏡片的自
動組裝過程。本文採用SOI晶片來避免繁雜的
面加工製程,並用DRIE蝕刻機器來蝕刻出所要
的結(jié)構(gòu)圖案,並將光阻材料鋪在結(jié)構(gòu)相關(guān)位置
來當作絞鍊,再經(jīng)由結(jié)構(gòu)分離與光阻再流動等
步驟後即完成三維光學(xué)鏡片自動組裝的製
作。此外,亦設(shè)計將三維光學(xué)鏡片與致動器整
合,擬製作出可旋轉(zhuǎn)式的三維自動組裝之微光
學(xué)鏡片。
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