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基于等傾干涉的二維微位移光學傳感測距系統

2755793 2018-02-01 | rar | 0.69 MB | 次下載 | 3積分

資料介紹

　　近年來，傳感器技術飛速發展，對于傳感器的研究已成為國內外研究的重要課題之一．在位移測量方面，基于壓電效應、霍爾效應、光纖原理等物理規律的傳感器技術研究已經頗為成熟，但是此類位移傳感測量技術大都是一維的位移測量，且測量精度還有待提高．在位移測量系統中，采用單片機與PC機構成的小型傳感器測控系統，因其價格低廉、功能強大、易于實現等特點，成為近年來應用的熱點．而光學傳感技術因其測量精度高亦成為人們競相探索的領域．本文所采用的光學干涉技術在微位移傳感方面是一種重要的方法．傳統的F-P等傾干涉技術，僅能運用于一維微位移光學測量．在二維微位移傳感方面，依據光纖技術，二維磁效應、差動電感式及各類光電式的二維傳感器已經先后面．其測量精度參差不齊，而本文對比各種新型干涉結構在光學微位移傳感技術方面可能的應用和研究，得出等腰直角劈等傾干涉結構最適用于對二維微位移實現光學傳感測量．該微位移光學傳感測距系統采用等腰劈的等傾干涉產生的干涉條紋作為前端信號，經CCD （charged coupled device）光電轉換后，通過單片機進行信號的采集與預處理，并將信號通過串行通信發送給PC機作圖你處理．所采用的技術為多光束分振幅式等傾干涉，其干涉條紋細銳，明暗對比強烈，所以測量精度很高，理論上可達l0-6～l0-7 m，因此本系統在肉眼難以觀察的微位移測距方面具有一定的應用前景．