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參數(shù)表征既需要進行電流－電壓（IV）測量，也需要進行電容－電壓（CV）測量。目前開發(fā)的制程技術(shù)通常 需要通過單通道對晶圓上器件進行精確的 IV 和 CV 測量。Keysight B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀在單臺主 機中使用一個新的單插槽多頻率電容測量單元（MFCMU）和兩個 SMU 單元，能夠支持單通道的 IV 和 CV 測量。 在一個探頭臺上進行 IV 和 CV 這兩種測量并不容易?；?SMU 的 IV 測量使用三軸連接器，而基于 CMU 的 CV 測量則使用 BNC 連接器。這兩種測量之間的切換非常復(fù)雜和耗時，很容易造成測量錯誤。例如，當(dāng) 通過手動切換測量電纜時，需要同時保持晶圓上的探針不變。在這種情況下切換電纜，摩擦所產(chǎn)生的電荷 可能會損壞器件。除了電纜連接問題之外，為獲得準確的結(jié)果，還必須正確設(shè)置與電容測量相關(guān)的誤差補 償參數(shù)。 B1500A 的 SMU CMU 統(tǒng)一單元（SCUU）可以有效解決這些測量問題。SCUU Keysight B1500A 半導(dǎo)體器 件分析儀能夠執(zhí)行精確的 IV 和 CV 測量并能在兩者之間輕松切換，從而節(jié)省了購置復(fù)雜的外部開關(guān)矩陣的 開支。 本應(yīng)用指南介紹了如何使用 B1500A 簡單地配置精確的 IV 和 CV 測量系統(tǒng)。
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