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VT6000系列共聚焦顯微鏡，在結(jié)構(gòu)復(fù)雜且反射率低的表面3D微觀形貌重構(gòu)與檢測方面具有不俗的表現(xiàn)。
一、結(jié)構(gòu)深、角度大
VT6000系列共聚焦顯微鏡基于針孔點光源的共軛共焦原理，其依托弱光信號解析算法可以完整重建出近70°陡峭的復(fù)雜的結(jié)構(gòu)形狀。
二、反射差、信號弱
VT6000系列共聚焦顯微鏡在此展現(xiàn)出其對弱光信號解析能力優(yōu)勢，對樣件表面的低反射率特性適應(yīng)能力更強。
中圖儀器以其自主研發(fā)的共聚焦顯微鏡，與早前推出的白光干涉儀一起，構(gòu)成光學3D顯微測量領(lǐng)域的姊妹雙姝，為國內(nèi)超精密加工與微納制造領(lǐng)域提供專業(yè)的3D顯微形貌檢測方案。
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