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微電子

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  微電子技術(shù)是隨著集成電路,尤其是超大型規(guī)模集成電路而發(fā)展起來(lái)的一門(mén)新的技術(shù)。微電子技術(shù)包括系統(tǒng)電路設(shè)計(jì)、器件物理、工藝技術(shù)、材料制備、自動(dòng)測(cè)試以及封裝、組裝等一系列專(zhuān)門(mén)的技術(shù),微電子技術(shù)是微電子學(xué)中的各項(xiàng)工藝技術(shù)的總和。

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微電子簡(jiǎn)介

  微電子技術(shù)是隨著集成電路,尤其是超大型規(guī)模集成電路而發(fā)展起來(lái)的一門(mén)新的技術(shù)。其發(fā)展的理論基礎(chǔ)是19世紀(jì)末到20世紀(jì)30年代期間建立起來(lái)的現(xiàn)代物理學(xué)。

  微電子技術(shù)包括系統(tǒng)電路設(shè)計(jì)、器件物理、工藝技術(shù)、材料制備、自動(dòng)測(cè)試以及封裝、組裝等一系列專(zhuān)門(mén)的技術(shù),微電子技術(shù)是微電子學(xué)中的各項(xiàng)工藝技術(shù)的總和。

  微電子技術(shù)是高科技和信息產(chǎn)業(yè)的核心技術(shù)。微電子產(chǎn)業(yè)是基礎(chǔ)性產(chǎn)業(yè),之所以發(fā)展得如此之快,除了技術(shù)本身對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的巨大貢獻(xiàn)之外,還與它極強(qiáng)的滲透性有關(guān)。另外,現(xiàn)代戰(zhàn)爭(zhēng)將是以集成電路為關(guān)鍵技術(shù)、以電子戰(zhàn)和信息戰(zhàn)為特點(diǎn)的高技術(shù)戰(zhàn)爭(zhēng)。

微電子百科

  微電子技術(shù)是隨著集成電路,尤其是超大型規(guī)模集成電路而發(fā)展起來(lái)的一門(mén)新的技術(shù)。其發(fā)展的理論基礎(chǔ)是19世紀(jì)末到20世紀(jì)30年代期間建立起來(lái)的現(xiàn)代物理學(xué)。

  微電子技術(shù)包括系統(tǒng)電路設(shè)計(jì)、器件物理、工藝技術(shù)、材料制備、自動(dòng)測(cè)試以及封裝、組裝等一系列專(zhuān)門(mén)的技術(shù),微電子技術(shù)是微電子學(xué)中的各項(xiàng)工藝技術(shù)的總和。

  微電子技術(shù)是高科技和信息產(chǎn)業(yè)的核心技術(shù)。微電子產(chǎn)業(yè)是基礎(chǔ)性產(chǎn)業(yè),之所以發(fā)展得如此之快,除了技術(shù)本身對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的巨大貢獻(xiàn)之外,還與它極強(qiáng)的滲透性有關(guān)。另外,現(xiàn)代戰(zhàn)爭(zhēng)將是以集成電路為關(guān)鍵技術(shù)、以電子戰(zhàn)和信息戰(zhàn)為特點(diǎn)的高技術(shù)戰(zhàn)爭(zhēng)。

  集成電路的主要工藝技術(shù),是在50年代后半期硅平面晶體管技術(shù)和更早的金屬真空涂膜學(xué)技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的。1964年出現(xiàn)了磁雙極型集成電路產(chǎn)品。

  1962年生產(chǎn)出晶體管——晶體管理邏輯電路和發(fā)射極藉合邏輯電路。MOS集成電路出現(xiàn)。由于MOS電路在高度集成方面的優(yōu)點(diǎn)和集成電路對(duì)電子技術(shù)的影響,集成電路發(fā)展越來(lái)越快。

  70年代,微電子技術(shù)進(jìn)入了以大規(guī)模集成電路為中心的新階段。隨著集成密度日益提高,集成電路正向集成系統(tǒng)發(fā)展,電路的設(shè)計(jì)也日益復(fù)雜、費(fèi)時(shí)和昂貴。實(shí)際上如果沒(méi)有計(jì)算機(jī)的輔助,較復(fù)雜的大規(guī)模集成電路的設(shè)計(jì)是不可能的。70年代以來(lái),集成電路利用計(jì)算機(jī)的設(shè)計(jì)有很大的進(jìn)展。制版的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)、器件模擬、電路模擬、邏輯模擬、布局布線的計(jì)算輔助設(shè)計(jì)等程序,都先后研究成功,并發(fā)展成為包括校核、優(yōu)化等算法在內(nèi)的混合計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì),乃至整套設(shè)備的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)系統(tǒng)。

  集成電路制造的計(jì)算機(jī)管理,也已開(kāi)始實(shí)現(xiàn)。此外,與大規(guī)模集成和超大規(guī)模集成的高速發(fā)展相適應(yīng),有關(guān)的器件材料科學(xué)和技術(shù)、測(cè)試科學(xué)和計(jì)算機(jī)輔助測(cè)試、封裝技術(shù)和超凈室技術(shù)等都有重大的進(jìn)展。電子技術(shù)發(fā)展很快,在工藝技術(shù)上,微細(xì)加工技術(shù),如電子束、離子束、X射線等復(fù)印技術(shù)和干法刻蝕技術(shù)日益完善,使生產(chǎn)上在到亞微米以至更高的光刻水平,集成電路的集成棄將超大型越每片106—107個(gè)元件,以至達(dá)到全圖片上集成一個(gè)復(fù)雜的微電子系統(tǒng)。高質(zhì)量的超薄氧化層、新的離子注入退火技術(shù)、高電導(dǎo)高熔點(diǎn)金屬以其硅化物金屬化和淺歐姆結(jié)等一系列工藝技術(shù)正獲得進(jìn)一步的發(fā)展。在微電子技術(shù)的設(shè)計(jì)和測(cè)試技術(shù)方面,隨著集成度和集成系統(tǒng)復(fù)雜性的提高,冗余技術(shù)、容錯(cuò)技術(shù),將在設(shè)計(jì)技術(shù)中得到廣泛應(yīng)用。

  微電子學(xué)是研究在固體(主要是半導(dǎo)體)材料上構(gòu)成的微小型化電路、電路及系統(tǒng)的電子學(xué)分支。作為電子學(xué)的分支學(xué)科,它主要研究電子或離子在固體材料中的運(yùn)動(dòng)規(guī)律及其應(yīng)用,并利用它實(shí)現(xiàn)信號(hào)處理功能的科學(xué),以實(shí)現(xiàn)電路的系統(tǒng)和集成為目的,實(shí)用性強(qiáng)。微電子學(xué)又是信息領(lǐng)域的重要基礎(chǔ)學(xué)科,在這一領(lǐng)域上,微電子學(xué)是研究并實(shí)現(xiàn)信息獲取、傳輸、存儲(chǔ)、處理和輸出的科學(xué),是研究信息獲取的科學(xué),構(gòu)成了信息科學(xué)的基石,其發(fā)展直接影響著整個(gè)信息技術(shù)的發(fā)展。微電子科學(xué)技術(shù)的發(fā)展水平和產(chǎn)業(yè)規(guī)模是一個(gè)國(guó)家經(jīng)濟(jì)實(shí)力的重要標(biāo)志。微電子學(xué)是一門(mén)綜合性很強(qiáng)的邊緣學(xué)科,其中包括了半導(dǎo)體器件物理、集成電路工藝和集成電路及系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、測(cè)試等多方面的內(nèi)容;涉及了固體物理學(xué)、量子力學(xué)、熱力學(xué)與統(tǒng)計(jì)物理學(xué)、材料科學(xué)、電子線路、信號(hào)處理、計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)、測(cè)試和加工、圖論、化學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域。

  微電子學(xué)是一門(mén)發(fā)展極為迅速的學(xué)科,高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微電子學(xué)發(fā)展的方向。信息技術(shù)發(fā)展的方向是多媒體(智能化)、網(wǎng)絡(luò)化和個(gè)體化。要求系統(tǒng)獲取和存儲(chǔ)海量的多媒體信息、以極高速度精確可靠的處理和傳輸這些信息并及時(shí)地把有用信息顯示出來(lái)或用于控制。所有這些都只能依賴(lài)于微電子技術(shù)的支撐才能成為現(xiàn)實(shí)。超高容量、超小型、超高速、超高頻、超低功耗是信息技術(shù)無(wú)止境追求的目標(biāo),是微電子技術(shù)迅速發(fā)展的動(dòng)力。

  微電子學(xué)滲透性強(qiáng),其他學(xué)科結(jié)合產(chǎn)生出了一系列新的交叉學(xué)科。微機(jī)電系統(tǒng)、生物芯片就是這方面的代表,是近年來(lái)發(fā)展起來(lái)的具有廣闊應(yīng)用前景的新技術(shù)。

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