標簽 > 擴散爐
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擴散爐是半導體生產線前工序的重要工藝設備之一,由控制系統、進出舟系統、爐體加熱系統和氣體控制系統等組成,主要用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝,能夠實現日志記錄,曲線記錄,程序編輯,遠程控制等多種功能。
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