三星電子也要自研智能傳感器？

智能傳感器在半導體制造過程中的重要性不容忽視。精確測量和管理等離子體條件，是提高半導體良率和產量的關鍵。

2023-12-29 標簽：傳感器三星電子等離子體 739 0

無標記等離子體納米成像新技術

? 一種使用等離子體激元的新型成像技術能夠以增強的靈敏度觀察納米顆粒。休斯頓大學納米生物光子學實驗室的石偉川教授和他的同事正在研究納米材料和設備在生物醫...

2023-11-27 標簽：等離子體成像 394 0

盛合晶微J2B廠房首批生產設備搬入，均來自國產設備廠商

據盛合晶微sjsemi消息，這是盛合晶微江陰制造基地二期工廠擴建項目如期完成，使用進入了意味著，公司的三維集中包裝項目穩步推進，意味著進入了一個新的發展...

2023-07-21 標簽：芯片等離子體生產設備 1751 0

等離子體彩虹芯片級智能光譜儀可實現光譜+偏振的雙功能傳感

近年來，研究人員和業內主要廠商已將研發重心轉向微型化、便攜式且低成本的光譜儀系統，使之可以在日常生活中實現現場、實時和原位光譜分析的許多新興應用。

2023-04-12 標簽：等離子體光譜儀顯微鏡 1141 0

一種在微波液體放電等離子體（MDPL）還原氧化石墨烯(GO)的新策略

本文提出了一種在微波液體放電等離子體（MDPL）還原氧化石墨烯(GO)的新策略。該方法還原速度快，反應活性高，溫度低，適合高效制備石墨烯。

2022-11-24 標簽：等離子體石墨烯 2318 0

半導體行業中的陶瓷材料

一般可采用高純Al2O3涂層作為刻蝕腔體和腔體內部件的防護材料。但是隨著半導體器件最小特征尺寸的減小和晶圓尺寸的增大，為了獲得更高的刻蝕精度和保證刻蝕的...

2022-11-17 標簽：等離子體碳化硅 1829 0

干法刻蝕和清洗（Dry Etch and Cleaning）

干法刻蝕工藝流程為，將刻蝕氣體注入真空反應室，待壓力穩定后，利用射頻輝光放電產生等離子體；受高速電子撞擊后分解產生自由基，并擴散到圓片表面被吸附。

2022-11-10 標簽：等離子體刻蝕 6717 0

世界上第一個基于高電荷態離子的光學原子鐘

PTB物理學家盧卡斯·斯皮伯解釋說，一個帶有高電荷態離子的光學原子鐘有助于更好地檢驗這些基本理論。“我們能夠在一個五電子系統中探測到量子電動核反沖，這是...

2022-11-09 標簽：等離子體電荷 635 0

等離子體摻雜（Plasma Doping）

通常，用射頻電源產生高濃度等離子體電離摻雜氣體，而用偏置電源加速離子去“轟擊”圓片表面。最常用的 PLAD 摻雜氣體為 B2H6，用于硼摻雜。對于需要非...

2022-11-01 標簽：射頻等離子體晶圓 5617 0

利用表面等離激元干涉實現納米尺度的能谷調制

隨著半導體先進制程逼近摩爾定律的極限，光電器件的尺寸到達納米量級，傳統的理論在逐步失效，而小尺寸器件中的新機理逐漸成為器件性能提升的機遇。能谷是半導體材...

2022-09-05 標簽：半導體等離子體納米 976 0

有誰知道夸克-膠子等離子體是什么嗎？

質子和中子都是由三個夸克構成，負責傳遞強力的膠子會將夸克牢牢地黏在一起。

2021-06-23 標簽：等離子體原子 2923 0

“碳”秘博世等離子涂層技術

看似“神秘”的等離子體，其實是宇宙中一種常見的物質，在太陽、恒星、閃電中都存在等離子體，它占了整個宇宙的99％。現在人們已經掌握利用電場和磁場來產生和控...

2021-06-18 標簽：等離子體電壓TAC 5219 0

萊斯大學科學家首次成功磁約束超冷等離子體

據《物理評論快報》近日報道，美國萊斯大學物理學家發現了一種將世界上最冷的等離子體捕獲在磁瓶中的方法。這項技術成就有助于推動對清潔能源、太空天氣和天體物理...

2021-03-19 標簽：等離子體清潔能源 1683 0