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標簽 > 肖特基勢壘二極管

肖特基勢壘二極管

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  肖特基勢壘二極管,又稱熱載流子二極管。利用金屬-半導體(M-S)接觸特性制成,有點接觸型和面結合型兩種管芯結構。

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肖特基勢壘二極管簡介

  肖特基勢壘二極管利用金屬-半導體(M-S)接觸特性制成,由于金屬-半導體接觸的電流運輸主要是依靠多數載流子(電子),其電子遷移率高,且M-S結可以在亞微米尺度上精確制造加工,使得肖特基勢壘二極管能運用到亞毫米波、太赫茲波頻段。肖特基勢壘二極管有兩種管芯結構:點接觸型和面結合型。點接觸型管芯用一根金屬絲壓接在N型半導體外延層表面上形成金半接觸。面結合型管芯先要在N型半導體外延層表面上生成二氧化硅保護層,再用光刻的辦法腐蝕出一個小孔,暴露出N型半導體外延層表面,淀積一層金屬膜(一般采用金屬淚或鈦,稱為勢壘金屬)形成金半接觸,再蒸餾或電鍍一層金屬(金、銀等)構成電極。

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肖特基勢壘二極管知識

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