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標(biāo)簽 > RHEED
RHEED(reflection high-energy electron diffraction):反射高能電子衍射儀。RHEED 裝置由高能電子槍和熒光屏兩部分組成。
從電子槍發(fā)射出來(lái)的具有一定能量(通常為10 - 30kev) 的電子束以1 - 2°的掠射角射到樣品表面,那么,電子垂直于樣品表面的動(dòng)量分量很小,又受到庫(kù)侖場(chǎng)的散射,所以電子束的透入深度僅1 - 2 個(gè)原子層, 因此RHEED 所反映的完全是樣品表面的結(jié)構(gòu)信息[(3見(jiàn)]圖1) ,并且在研究晶體生長(zhǎng)、吸附、表面缺陷等方面也取得了很大的進(jìn)展。它]是當(dāng)今表面科學(xué)和原子級(jí)的人工合成材料工程中的強(qiáng)有力的原位分析與監(jiān)控的手段。特別是在分子束(MBE) 外延技術(shù)中,利用RHEED 進(jìn)行原位監(jiān)測(cè)是一個(gè)重要手段。
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