??? 中國非晶硅電池新增產能50MW(津能8 MW，廣東中山10 MW，福建泉州10 MW，寧波慈溪5MW,北京世華10 MW，山東藍星5 MW，山東東營2．5MW)。為了進一步提高效率和穩定性，發展了硅基薄膜電池的第二代技術一一微晶硅薄膜電池．和非晶硅電池相比，微晶硅具有兩大優點，一是微晶硅具有類似于單晶硅的低光學帶隙，因此可明顯拓展長波光譜響應，從而實現高的電流密度；二是具有很小的光致衰退效應，可明顯提高電池穩定性。因此其受到廣泛的重視和研究。微晶硅電池的缺點在于它是間接帶隙半導體，在短波段的光吸收系數比非晶硅低，因此要實現高的短路電流密度需要超過1um的吸收層厚度。為了實現微晶硅電池的低成本制造，需要高速沉積技術。有實用前景的高速沉積技術，有甚高頻(VHF)等離子增強化學氣相沉積(PECVD)技術，射頻高壓耗盡(RFHPD)一PECVD技術。最近，把甚高頻與高壓相結合，使微晶硅薄膜的沉積速率提高到20—30A/s。微晶硅薄膜采采用與非晶硅兼容的技術制備，鑒于非晶硅良好的短波響應特性和微晶硅良好的長波響應特性，常用微晶硅怍底電池，形成非晶硅／微晶硅疊層結構，可大幅度提高轉換效率。非晶硅/微晶硅疊層太陽電池被國際上公認是實現高效、高穩定、低成本薄膜太陽電池的重要技術途徑。通過諸多實驗室的努力，微晶硅電池自1994年被報道以來，轉換效率得到明顯的提高。目前，單結微晶硅電池的效率已超過10％，非晶硅／微晶硅雙結疊層電池的效率超過14％，三結疊層電池的效率超過15％，大面積組件效率-13％。