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• 發布了文章 2024-06-01 08:08

  國家市場監督管理總局計量司副司長劉洪彬一行蒞臨中圖儀器調研指導工作

  

  5月29日下午，國家市場監督管理總局計量司副司長劉洪彬、計量司一級調研員劉國傳一行蒞臨深圳市中圖儀器股份有限公司調研指導工作，廣東省市場監督管理局計量處處長郭幸妮，深圳市市場監督管理局副局長李軍、計量認證處處長郭力軍，北京市計量檢測科學研究院副院長張琳等有關領導專家陪同調研。中圖儀器董事長馬俊杰對劉洪彬副司長一行的到來表示熱烈歡迎。調研組首先來到公司展廳參觀

  測量儀 激光跟蹤儀 輪廓測量儀

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• 發布了文章 2024-06-01 08:08

  WD4000系列晶圓幾何量測系統：全面支持半導體制造工藝量測，保障晶圓制造工藝質量

  

  晶圓面型參數厚度、TTV、BOW、Warp、表面粗糙度、膜厚、等是芯片制造工藝必須考慮的幾何形貌參數。其中TTV、BOW、Warp三個參數反映了半導體晶圓的平面度和厚度均勻性，對于芯片制造過程中的多個關鍵工藝質量有直接影響。TTV、BOW、WARP對晶圓制造工藝的影響對化學機械拋光工藝的影響：拋光不均勻，可能會導致CMP過程中的不均勻拋光，從而造成表面粗糙和

  半導體 晶圓 芯片制造

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• 發布了產品 2024-05-31 10:36

  精密橋式中圖儀器三坐標測量機

  

  產品型號：Mars系列 注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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• 發布了產品 2024-05-31 10:35

  半導體晶圓Warp翹曲度量測設備

  

  產品型號：WD4000系列 注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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• 發布了產品 2024-05-31 10:32

  輪廓測量儀凸軸粗糙度一體機

  

  產品型號：SJ5800系列 注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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• 發布了產品 2024-05-31 10:30

  機床在線檢測加工測頭

  

  產品型號：PO系列 注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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• 發布了產品 2024-05-31 10:27

  高分辨率共聚焦成像顯微鏡系統

  

  產品型號：VT6000系列 注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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• 發布了產品 2024-05-30 10:45

  Mars高穩定性高運行精度中圖三坐標測量機

  

  產品型號：Mars575 注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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• 發布了產品 2024-05-30 10:43

  Novator復雜特征批量影像儀 全自動高精度影像測量儀

  

  產品型號：Novator系列 注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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• 發布了產品 2024-05-30 10:34

  CP系列微納樣品接觸式微觀表面臺階測量儀

  

  產品型號：CP200 注釋：如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯系中圖儀器咨詢。

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