動態(tài)壓力傳感器發(fā)展趨勢

 傳統(tǒng)的動態(tài)壓力測量采用壓電式壓力傳感器，它利用石英、壓電陶瓷等材料在受到突變力時產(chǎn)生電荷的壓電效應制成。由于它有優(yōu)良的高頻動態(tài)性能（一般數(shù)百千赫茲的固有頻率和微秒級的上升時間），因此至今仍是動態(tài)壓力傳感器的主導產(chǎn)品之一。然而它的使用不便、抗擾度差、低頻特性差（數(shù)赫茲以下的低頻特性很差）等天生缺點，使其在既要求動態(tài)瞬變過程，又要求慢變靜態(tài)過程的全程壓力變化的工業(yè)應用中顯得很不勝任。動態(tài)壓力傳感器的另一流派，利用單晶硅材料壓阻效應制成的壓阻動態(tài)壓力傳感器在近年則得到迅速發(fā)展，由于其在精度、壽命、可靠性、兼顧靜態(tài)與動態(tài)測量等方面的優(yōu)點，已經(jīng)成為壓力測量的主流。目前，隨著技術的不斷進步，壓阻動態(tài)壓力傳感器的動態(tài)性能已逐漸超越壓電式壓力傳感器，并成為未來動態(tài)壓力傳感器的主要發(fā)展方向。公司擁有壓阻式高頻動態(tài)壓力傳感器相關授權國家發(fā)明專利7項，牽頭制定了GB/T 26807-2011《硅壓阻式動態(tài)壓力傳感器》國家標準一項和JB/T11206-2011《硅壓阻式微型、薄型壓力傳感器》國家機械行業(yè)標準一項。該項技術獲2017年國家技術發(fā)明二等獎。高頻動態(tài)相關產(chǎn)品性能指標獲得了航空304所、航天102所的高度評價與認可，多用于動態(tài)計量標準壓力傳感器。